XeF2
XeO3
XeOF4
XeF4
Partial hydrolysis of XeF6 gives XeOF4 (compound X)XeF6 + H2O → XeOF4 + 2HFXeF6 reacts with silica SiO2 to form XeOF4 (compound X)2XeF6 + SiO2 → 2XeOF4 + SiF4